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Mentor Graphics 公司的 Calibre LFD光刻检查 工具获得TSMC的20nm级制造流程认证

俄勒冈州,威尔逊威尔市,2012912Mentor Graphics 公司(纳斯达克代码:MENT)今天宣布Calibre® LFD™ (光刻友好设计)光刻检查工具已获得TSMC的20nm IC 制造工艺认证。

Calibre LFD 可对热点进行识别,还可对设计工艺空间是否充足进行检查。光学临近校正法(OPC)在掩膜阶段无法解决的问题,可利用Calibre LFD在设计阶段进行识别,并在交付制造前对其进行解决。这不但有助于避免出现光刻制造问题,而且有助于避免因返工而导致产品上市时间的延迟。在40nm至28nm级工艺流程中,交付制造前进行光刻检查不但早已成为业内标准流程,而且在更高级的20nm级工艺流程中正在得到应用。

“从LPC研发项目伊始,到为强化光刻工艺检查(LPC)仿真而对Calibre LFD和TSMC的面向制造的综合性设计工具的集成,我们与TSMC始终保持着密切的合作,”Mentor Graphics公司Calibre LFD 和 DFM服务产品营销经理Joe Kwan如是说。“快速精确的光刻工艺检查是一项极其重要的功能,可使设计公司获得竞争优势,业内设计师可借助Calibre极大地提高设计的可制造性。”

“在20nm级设计中,LPC可确保采用了双重曝光等先进技术的设计符合DFM要求,并可最大限度地减少光刻热点,”,TSMC设计基础设施营销部高级总监Suk Lee如是说。“通过和Mentor公司的密切合作,我们实现了Calibre LFD和综合性DFM的集成,可在和以往类似的综合性流程中对光刻进行精确检查,而TSMC的20nm数据套件亦可完全支持上述检查流程。”

关于Mentor Graphics
Mentor Graphics公司是电子硬件和软件设计解决方案的全球领导者,为世界上最成功的电子、半导体和系统公司提供优质产品、咨询服务和支持。公司成立于1981年,在刚过去的会计年度里的总收入约为10.15亿美元。公司总部地址:8005 S.W. Boeckman Road, Wilsonville, Oregon 97070-7777。全球网站:http://www.mentor.com

(Mentor Graphi和Calibre是注册商标,LFD是Mentor Graphics公司的注册商标。其他所有公司或产品名称均为相关所有者的注册商标或商标。)