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Mentor Graphics发布下一代光学临近效应修正(OPC)解决方案Calibre nmOPC

Calibre纳米光学临近修正解决方案(nmOPC)在大大降低分辨率增强技术(RET)流程购置成本的同时提供高精确度、高性能

WILSONVILLE, Orc., 2006年11月29日——Mentor Graphics(纳斯达克代码:MENT)于今日宣布第三代OPC工具——Calibre®nmOPC正式发表,该工具扩充了应用于65nm节点以下工艺技术的Calibre OPC产品解决方案。Calibre nmOPC及配套的验证工具,Calibre OPCverify®(于去年发表),以高精度,快速和低成本开创了运算光刻技术的新纪元。

    低k1光刻工艺正在不断增加纳米技术设计中RET应用的复杂性。在45nm工艺节点,更加复杂的模型、彻底工艺窗口的修正及验证极大地增加了光刻模拟的计算量。光刻所带来的挑战,以及45纳米工艺节点计算复杂性的提高要求光刻模拟工具具备更高的性能。

    Calibre nmOPC提供多项创新解决方案:基于格点的模拟技术;彻底工艺窗口OPC优化;利用并行处理器加速(与Cell宽带引擎处理器一起)的混合计算平台;一种新的紧密光阻模型和面向设计的智能修正算法。Calibre nmOPC提供最高的精确度、速度和最低的成本。如同所有Calibre家族的产品一样,Calibre nmOPC和Calibre OPCverify能够运行在统一的Calibre层次化图形处理引擎上,该引擎使用统一的指令语言将设计完全集成到掩模处理流程中。Calibre nmOPC同时也具备许多面向生产的特性,例如: OASIS格式化输出能使输出文件最小化;和平坦化OPC工具相比,新的高效层次化的图形处理引擎不仅缩短运行时间,而且能得到更小的输出文件,任务进程时间指示和动态CPU分配能使客户在实际生产中灵活管理周转时间。

稠密型的工艺窗口模拟

    工艺条件波动对良率产生巨大影响。光刻过程中曝光剂量和焦距的波动会影响图像的保真度。为了降低流片失败所带来的风险和提高低k1条件下的良率, Calibre nmOPC使用基于格点的图像处理算法,提供对于掩模图形100%的覆盖率。而对整个工艺窗口的修正优化算法能确保光刻工艺中图形转移的成功。Calibre nmOPC具备同时将多层版图数据输入到修正算法中等特色功能,能从电路设计的角度对晶体管的关键区域进行修正,以提高良率。

混合并行处理器计算平台

    Mentor 通过引入独一无二的并行处理器架构,成功解决了光刻中复杂计算对CPU个数的巨大需求问题,从而降低了客户的购置成本。远程加速模拟(RAS)架构能方便的通过以太网与现有的计算集群实现连接。Mentor与 Mercury计算机系统公司——一家在高性能计算系统设计领域领先的公司建立了合作伙伴关系,提供基于超高性能Cell宽带引擎(CBE)的标准并行处理器加速集群。Cell处理器集群能对Calibre nmOPC的图像处理算法进行加速。通过对65nm工艺节点的测试,在不增加CPU个数的情况下使用Cell处理器集群能使运行速度提高4到10倍。这种将Cell处理器应用于运算光刻的创新技术能满足工业界降低生产成本的要求。

    IBM公司技术合作解决方案半导体行业销售副总裁Anthony Yu说:“Cell宽带引擎在图形的计算处理的上拥有巨大性能优势,它适合应用于半导体相关行业.和Mentor公司新的高密度图像处理软件。由行业领先的EDA公司,像Mentor Graphics来应用Cell宽带引擎,将使Cell宽带引擎处于先进半导体工艺的最前沿。

紧密模型

    Mentor推出了第四代紧密光阻模型(CM1),延续了该公司一直提供业界领先的精确模型的优良传统。紧密光阻模型能满足客户对于45和32nm工艺节点的需求,并能充分利用nmOPC稠密型的图像模拟和并行处理器加速的特性。CM1模型的自动化校准具有很好的稳定性,使OPC工程师更容易实现各种参数的优化。

    “在Calibre nmOPC中我们引入了多项创新的技术,帮助我们在运算光刻市场内保持领先地位。” Mentor Graphics硅设计分公司副总裁兼总经理Joe Sawicki说到,“通过与提供高端计算硬件厂商Mercury合作,我们在保留成功的商业模型的同时增强了我们在软件创新上的核心竞争力。”

关于 Cell宽带引擎

    Cell宽带引擎是索尼计算机娱乐公司的商标。Cell宽带引擎由索尼、东芝和IBM合作开发。 要获取更多关于Cell宽带引擎技术的信息,请访问以下网址
http://www-128.ibm.com/developerworks/power/cell/index.html

    Mentor Graphics及Calibre是注册商标,Calibre OPCverify是Mentor Graphics的商标。所有其他公司或产品的名称是各自所有者的注册商标或商标。